全，性能有待进一步改进，因此项目原材料和辅助材料主要来源于进口。项目主要原辅材料及能源消耗情况见表 。 表 2 拟建项目原辅材料及能源消耗情况一览表 序号 一 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34
名称 原辅材料 单晶硅籽晶 免洗多晶硅料 石英坩埚 石墨加热器 液氩 单晶搀杂剂 液氮 碳化硅 碳化硅 切割液 TAB钢线0.12mm TAB金钢线 环氧树脂 玻璃板 银铝浆 银浆 正级、负级、背场丝网 密封胶带 网板 钢化玻璃 EVA 背板 滑轮外套 接线盒 角键 铝材 焊带（锡片） 汇流带 高纯液氧 硅烷 液氨（NH3） 氢氟酸 盐酸 规格 单位 t/a t/a 个/a 个/a t/a kg/a t/a t/a t/a t/a 万km/a 卷/a t/a 块/a kg/a kg/a 个/a 万m2/a 块/a m2/a m2/a m2/a 个/a 万套/a 万个/a t/a t/a t/a t/a t/a t/a kg/a t/a t/a 数量 1.90 1410 30600 852 900 240 3915 6186 42.6 6966 883.8 571 9.63 80166 29376 29376 8078 16.698 8079 2250000 4779600 2147400 33000 165 660 5973 173.6 42.39 225.46 5.618 7.49 771 656.04 1039.94 直径12.5mm，重量37g 99.9999% 20kg/个 主要成分：磷硅母合金 GC1200# 46# 主要成分为聚乙二醇或二甘醇 0.25mm*10km/卷 2.943kg/块500*126*15mm 其中90%为银粉和铝粉，10%为环氧树脂及丁基-乙二醇 其中90%为银粉，10%为环氧树脂及丁基-乙二醇 一种塑料，乙烯和醋酸乙烯共聚物 铝边框 99.999% 99.999% 40%，密度1.128 37%，密度1.19 5
三氯氧磷（POCl3） 99.9999%
35 36 37 38 39 40 41 42 二 1 2 3 氢氧化钾溶液 硝酸 氢氧化钠 异丙醇 硫酸 高效清洗剂 三溴化硼 四氟化碳 能源及水 电 水 蒸汽 50%，密度1.47 65%，密度1.4 颗粒状 99.7%，密度0.79 98%，密度1.84 密度1.02 t/a t/a t/a t/a t/a t/a t/a t/a 万KWh/a m3/a t/a 740.25 113.12 4.92 788.97 27.05 3.11 3.14 4.55 14130 502656 14620 5、主要设备 原有项目设备总计385台（套），其中进口设备253台（套），国产设备132台（套）。项目主要设备情况见表。 表3 拟建项目主要设备一览表 生产线 序号 1 2 3 4 5 单晶硅 硅片 生产线 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 太阳
类别 数量 设备名称 单晶炉 热场 线锯 规格型号 EKZ-2700 E500SD-B/5 金刚线 TS207 LB4000EXC×1500-R 120kg SC2000E 8080A GFT-5 INTEX INOXSIDE 6
（台、套） 60 60 29 3 2 4 2 2 4 65 4 2 2 8 2 2 6 4 厂家名称 PVA SGL CARBON GMBH HCT HCT 梅耶博格 Anorld GmbH & CoKG 丸红 力丰澳门 捷昇国际 国产 深圳捷佳创 昆山诚瑞 无锡南亚科技有限公司 RENA RENA 进口 破锭机 内圆锯 滚圆倒角机 研磨机 开槽机 硅片测试分选 单晶炉 硅片清洗机 硅片预清洗机 国产 硅片自动插片机 喷砂机 腐蚀台 碎电池片腐蚀清洗机 1 2 进口 清洗制绒设备 湿法刻蚀
能 电池 片生产线 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 1 2 3 进口 国产 抛光刻蚀 管式扩散炉 管式扩散炉 PECVD炉 PECVD的加卸载机械手 烧结炉 烧结炉 丝网印刷机 丝网印刷机 栅线检测 湿化学 等离子刻蚀机 焊接机 焊接机+敷设机 背板裁切机 模拟仪 在线自动装框机 打胶机 层压机 敷设后传输 层压后传送带 国产 自动测试分选系统 EL测试仪 自动灌封胶机 双螺杆空压机 国产 螺杆压缩冷水机组 水泵 冷却塔 POCL3 BBR3 Sina XXL 8 Lanes MANZ Automation Handling single lane dual lane dual lane BACCINI SOFTLINE PVI-6 FSPI M42300-1/UM Xcell 3400 DF-3R SM-60 PV PVA350 WITH MX4000 TDCZ-Y-4 ZK-2 KS-02020 4 8 16 4 4 4 2 2 4 16 8 25 2 4 1 4 2 2 16 2 2 2 2 2 4 10 4 9 RENA tempress tempress RATH & RAU MANZ Despatch Despatch ASYS BACCINI icos 捷佳创 湖南红太阳光电科技有限公司 美国komax 日本外山 美国ROSENTCHAL h.al.m.elektronik Gmbh REIS PRECISION valve 秦皇岛市奥瑞特科技有限公司 廊坊万和包装 营口今晨 北京自所化研究所 上海太阳能工程技术研究中心 威海市龙升精密机械有限公司 太阳 能电 池组 件生 产线 4 5 6 7 8 9 10 11 12 动力车间 1 2 3 4 6、原有项目工艺流程 单晶PERC电池工艺流程为：制绒—抛光--扩散--湿法刻蚀—PECVD镀膜--金属化--测试—入库。 7
制绒 抛光 扩散 湿法刻蚀 PECVD镀膜 金属化 包装入库 测试 图1 PERC电池工艺流程图 主要生产工序说明 制绒、抛光：用KOH、IPA和添加剂的混合液在硅片表面进行各向异性的腐蚀，形成金字塔结构的绒面。制绒过程在去除硅片表面损伤层的同时减少光的反射，从而提高太阳电池的转换效率。 扩散：磷扩散制结是在高温条件下把磷原子扩散进入硅片的表面，在硅片表面形成一个与基体材料导电特性相反的薄层的过程。首先向扩散炉中通入大量的N2将炉内石英管中的空气置换完全，之后通入O2，并对扩散炉进行电加热，待炉温升至920℃且温度恒定后，把清洗好的硅片放入扩散炉内，同时由氮气将液态三氯氧磷（POCl3）吹入扩散炉中，在高温下POCl3与O2、Si反应生成SiO2和磷原子。磷原子（P）在高温下逐步向硅片内部扩散，在硅片表层形成一定的浓度梯度，最终形成P-N结。 湿法刻蚀：磷扩散后需要去除硅片背面及边缘n型电极，并对硅片再次进行腐蚀，以去除硅片在扩散过程中形成的表面氧化层，从而使硅片上下两边P-N结隔离。 PECVD镀膜：在硅片表面沉积起减反射和钝化作用的氮化硅膜。该工艺过程是利用高频微波在低压状态下将硅烷（SiH4)和氨气（NH3）激发为等离子体态，Si原子与N原子以一定的比例沉积到硅片表面形成氮化硅（Si3N4）薄膜，薄膜起到减反射和钝化的作用。 金属化：通过调整背铝的玻璃体、溶剂，以改善侵蚀性和印刷性，改善背场性能，同时配合烧结工艺的优化调整，实现局部背场。 测试：在模拟太阳光的条件下，使用太阳模拟器和电子负载测试太阳能电池的电性能参数（如测量其I-V曲线和光的转换率等电参数）。测试完成后电池会按照一定的标准被自动分为多档。当某一档内电池片达到规定数目时，设备会提醒操作人员取出进行包装。设备还具备碎片检测功能，发现碎片后会及时剔出，而不作为完整的电池进行测试。
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