第三讲体硅加工 - 图文南京廖华答案网

第三讲体硅加工 - 图文下载本文

文章发布时间 : 2026/5/30 4:37:02星期六

9

刻蚀液的组成：

48%HF：99.8％C2H5OH：H2O＝1:2:17（体积比）室温工作，300W卤素灯背照明，直流2.5V或者小于30mA/cm2的电流密度，Pt阴极。

10

11

12

1
2
3
4
5
6
7

Word文档下载：第三讲体硅加工 - 图文.doc

搜索更多:第三讲体硅加工 - 图文

热门浏览