C.1 空气悬浮粒子计数

C.1.1 光散射离散粒子计数器DPC，能够对单个空气悬浮粒子计数和计径，并以当量光学

直径表示粒径数据。

表C.1中给出了光散射离散粒子计数器的技术要求。

表C.1 光散射离散粒子计数器测量技术要求

项目 灵敏度（分辨率）a 测量不确定性 校准间隔时间 计数效率 低浓度范围 高浓度范围 在粒径设定值的浓度误差为? 20 % 最长12个月或规定的性能检定时 最低粒径阈值时为（50?20）%，等于或大于最低粒径阈值1.5倍时为（100?10）% 与实际预期的最低计数量相比，假计数量是微不足道的。低计数量在一段时间内应该为0个粒子（如，5分钟内无计数） 在使用点大于设施洁净度级别浓度2倍，并且不超过厂家建议最大浓度的75 %。 技术要求 可在0.1 ?m ~5 ?m间选择，粒径分辨率? 10 % a 粒径分辨率大于10%的仪器的粒子计数结果，可以有达1个数量级的变化。 C.2 超微粒子计数

C.2.1 凝聚核粒子计数器（CNC）是对被采粒核上凝聚过饱和蒸汽所生成的所有液滴进行

计数的仪器。它对大于或等于CNC最低粒径灵敏度的那些粒子进行浓度累计。

表C.2 凝聚核粒子计数器技术要求

项目 测量限值（范围） 灵敏度 测量不确定性 稳定性 校准间隔时间 低浓度范围 注：计数效率见图B.1。 浓度达3.5×109/m3 依具体应用情况而定，如0.02 ?m 最低阈粒径的? 20 % 可能受环境气体种类影响 最长12个月 与实际预期的最低计数量相比，虚计数量是微不足道的。 技术要求 C.2.2 离散粒子计数器（DPC），能够对包括超微粒子在内的单个空气悬浮粒子计数和粒径。

离散粒子计数器的技术要求见表C.3。

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表C.3 DPC技术要求

项目 测量限值（范围） 浓度达3.5 × 107/m3 灵敏度（分辨率） 小于0.1 ?m，粒径分辨率? 10 % 测量不确定性 校准间隔时间 计数效率 设定粒径值的浓度误差为? 20 % 最长12个月 最低粒径阈值时为（50? 20）%，等于或大于最低粒径阈值1.5倍时为（100? 10）% 技术要求 注：计数效率见图B.1。 C.2.3 粒径限制器为空气样本输送部件，位于超微粒子计数装置的进气口处，可清除小于

规定粒径的粒子。扩散元件和虚拟冲撞器就是这样的装置。 粒径限制器的技术要求见表C.4。

表C.4 粒径限制器技术要求

项目 测量不确定性 校准间隔时间 采样流量 随装置类型而异，一般12个月 经过粒径限制器的流量应该恒定（? 10 %），等于或大于计数装置的流量 技术要求 清除掉（50 ? 10 %）规定粒径的粒子

C.3 大粒子计数

C.3.1 用显微镜观测过滤纸上采集的粒子，见ASTM F312。

C.3.2 串级撞击器，样本以恒速流经一系列尺寸渐小的孔的粒子采集系统（小孔面向采集

表面）。流体每通过一级孔式采集器，其速度即有所提高，较小的粒子就被采集起来并称重或计数。

串级撞击器的技术要求见表C.5。

表C.5 串级撞击器技术要求

项目 测量限值（范围） 灵敏度（分辨率） 精确度 规定的采样流量 低压下可以采集亚微米粒子 各级“截留”的精确度? 90 % 技术要求 85