（7）溅射电源控制：PLC可以对溅射电源实现远控，可根据工艺的变化控制靶的启/停，并可进行电压、电流、功率参数的设定，中频电源可选择恒电流/恒电压/恒功率输出模式。
（8）设有工艺存储功能，工艺参数画面可以调用已存储的工艺参数。 （9）真空系统的安全互锁保护要求：
1）放气阀开，挡板阀必关；挡板阀开，放气阀不得打开；放气阀关不影响挡板阀动作。 2）压差阀与机械泵联动，停机械泵时压差阀关闭。
3）罗茨泵、分子泵、门阀的启、停和开、闭，与相关的真空度要设有闭锁保护。 （10）各种保护：
1）总电源缺相、错相报警；分子泵电源、中频电源、变频器等故障报警。
2）设压缩空气气压报警，报警压力值可设定，初步设定管路气压小于0.4MPa报警。 3）所有进水总管路分别设水压报警，报警压力值可设定，初步设定水压小于0.2MPa,大于0.5MPa，报警。
4）每支靶的回水管路装断水开关，断水或水流量不足时报警，并停止靶工作。 5）每支靶的回水管路设水温报警（温度传感器选一体化温度变送器，温度0-100℃变换后输出DC 0-10V），报警和保护值可在屏上设定，暂定靶的回水温度超过40℃时报警、50℃时靶停止保护。
6）门阀的开闭故障、工件车传输出现故障时要报警，并停止故障点以前的动作，将故障点动作转到手动。
7）气动阀设开、关未到位报警保护。
8）报警要有声、光警示，并在屏幕上显示故障点的位置，系统存储故障发生的时间。 9）出管和控制室分别设塔式镀膜线工作状态指示灯。 4、主要工控硬件选择：
（1） 选择两台工控机：上位机选研华工控机IPC 610 P IV CPU 2.4G Hz 512M内存
/80G硬盘，集成显卡/52倍光驱，显示器选25寸液晶显示器。一台工控机在操作台上监控，另一台工控机做为远处监控，同步与下位的PLC时实通讯。 （2） 选用一台52寸液晶电视及相关的部件构成，同步显示镀膜线的运行状况。 （3） 监控中心由两台研华工控机和正版工控组态（用组态王）软件、通讯网络、通讯
线等构成，其功能可监控镀膜线工作，设置工艺参数、采集系统运行数据。 （4） 控制系统配置:
1) 一台触摸屏（三菱TFT真彩 12.1英寸，带存储卡）。 2) 三菱PLC(可编程控制器)：
其中包括Q06HCPU带存储卡；
MELSEC/H 网络模块： 主站1块，两个从站各一块； 三菱PLC RS485/422通讯模块（QJ71C24）1块；
以太网模块 1块； 位控模块（QD75M1）1块；
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高数计数模块（QD62）5块；
模拟量输入模块（A/D）Q68ADV （8路/块） 共计 18块 144路； 模拟量输出模块（D/A）Q68DAV （8路/块），共计 9块 72路； 输入模块 QX42 （64点/块）， 共计9个模块576点； 输出模块 QY42P（64点/块），共计7个模块448点； 通讯模块 严华：ADAM4520)2块 ， ADAM4521 17块；
装无线通讯传输模块（用于外传输两个横车和一个纵车和主控PLC通讯），系统模拟量等弱信号采用屏蔽导线连接。
3) 三菱FR-A700变频器（7.5KW 1台，3KW 3台，2.2KW 10台）；交流伺服系统一套（三菱 HC-SFS502B/MR-J2S-500B，5KW）：包括伺服放大器、伺服变压器、制动电阻和配套所需的全部附件（注：伺服电动机和伺服减速机由机械的传输部分选型购置）；光电开关用欧姆龙E3Z-T61对射式光电开关；旋转编码器用欧姆龙E6C-CW2ZGH 500P/R 旋转编码器。开关电源用欧姆龙品牌。
4) 外传输采用三菱FX1N PLC，要能连接无线通讯模块，并能接收旋转编码器的输入；两个横车和一个纵车各一套控制系统。
5) 控制系统配置 A、要确保品牌的选择；B、供方要确保系统元件的配置数量，能够实现镀膜线的最佳控制功能；C、PLC输入、输出备用点数，为使用点数的15%。
（5）低压电器元件选施耐德产品（中间继电器可用松下产品）。 5、操作台及正面板设计要达到如下要求：
（1）操作台各部尺寸比例合理，表面喷塑经久耐用。
（2）能正确指示镀膜线的工作状态，指示灯亮度合适，各个元件摆放合理。 （3）触摸屏与工作指示区比例协调，高度便于工艺员观测数据及操作。 （4）操作台及正面板的设计要美观大方，制作前经需方同意。 6、联络功能：
为方便工艺调试和方便生产的联系，在控制室内装一台无线电话总机，控制室、镀膜线进出管侧和中间部位各配一台无线电话，实现控制室和镀膜线之间互相进行通讯联系。 7、需方负责采购的物品：
中频电源（550KW/55台），变压器 380V/208V 1000VA， PCU04，分子泵电源,接地极、
接地铜皮，由需方采购。除以上物品均由供方提供，所提供的元件根据系统要求按规范选购和配置，控制系统的全部安装工作由供方负责。 8、软件开发：
供方负责上位工控机组态程序、PLC程序和触摸屏程序及RS-232、RS-422、RS-485通讯程序的开发和编制，并且确保根据工艺和控制要求，在现场及时进行修改和技术服务，以达到需方的工艺要求。 9、供方提供的技术资料：
（1）控制系统使用说明手册。
（2）工控机、PLC、触摸屏及其它相关硬件产品的开发软件，和齐全的操作手册、硬件
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说明。
（3）提供上位机组态、触摸屏和PLC带注释的完整应用程序。
（4）完整、准确的控制原理图、接线图、元器件名细表各三套。 （5）随机备品（包括PLC编程线、触摸屏编程线）。 10、双方任务分配原则：
（1）供方对控制系统的配置负全面责任，供方必须确保控制系统的配置，能够实现镀
膜线的最佳控制功能；供方要按电器技术规范选择电线电缆，并略留有余量，元器件的选择不得低于技术协议要求的配置。
（2）电控柜的结构和颜色方案，经需方确认后开始生产。
（3）电缆槽根据需方要求，由供方完成图纸设计、制造和安装。
（4）控制过程由需方提供，供方按需方提供的技术要求完成相应的控制过程；控制系 统安装、调试完成后，无故障运行一个月后开始最终验收，一个月期间若发生故障在故障排除一个月后最终验收。
（5）需方提供给供方带控制点的系统图作参考。 （6）需方提供给供方电缆沟和电缆槽的走向示意图。
（7）供方负责控制系统满足镀膜线实现镀膜工艺的控制的全部工作，本电气控制系统为交钥匙项目。
本技术协议是合同的附件，与合同具有同等法律效力。
供方： 需方：
单位名称： 单位名称：德州XX太阳能真空管有限公司 法定代表人（签字）： 法定代表人（签字）： 委托代理人（签字）： 委托代理人（签字）： 签字（盖章）： 签字（盖章）
时间： 年 月 日 时间： 年 月 日
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真空管二厂二期比一期电控系统增加部分
在总结真空管二厂一期镀膜线的基础上，对二期镀膜线的电控系统，进行了部分修改，具体增加的部分如下：
1、溅射功率增加110KW中频电源，即增加一个中频电源柜。 2、增加十五台真空计（压阻计、电阻计），即增加一个真空检测柜。 3、增加十台分子泵，即增加两个分子泵电源柜。 4、增加一台工控机。
5、增加外传输两个横车、一个纵车的无线通讯、全部控制（含三菱FX1N PLC三个 、三菱变频器六台、旋转编码器、开关电源、断路器、接触器、接近开关等。）、编制程序和安装调试。
6、操作台由1200毫米增大到1500毫米。
7、增加两个镀膜室的控制、接线和程序编制及调试。
增加加热器及控制：
装管区二装两组加热器，每组6KW（三相），分别用故态继电器控制，有车时加热。 8、进管室装两组加热器，每组6KW（三相），设温度检测，分别用固态继电器控制，有车时加热。 8、增加两个固定架控制元件、安装和调试。
9、压阻式真空计型号ZDY-I型12台。电阻式真空计型号ZDR-I-LED 8台。成都正华电子
周祖政 电话：13808198484
10、复合式真空计型号HY9940-1B型4台。压强控制仪型号HY9940C-PC型15台。传感器
到仪器的导线，长度略有余量。（就是申老师电话）
11、压电陶瓷阀型号：MV-112 （美国品牌，深圳利方达经营），流量：0-500SCCM 15个（工
作气体）。传感器到仪器的导线，长度略有余量。深圳利方达公司电话：0755-2606939
12、质量流量控制器型号：D07-18A/ZM，量程0—500SCCM 3台（DM1、DM2）。质量流量
计型号：D07-18AM/ZM，量程0—500SCCM 26台。质量流量显示仪型号：D08-4B 7 台。电磁截止阀型号：DJ2B-301(增加40个开关点)。传感器到仪器的导线长度，长度略有余量。 北京七星华创 电话：010-64362939 01064369878
13、中频电源到靶的射频电缆型号：SYV-50-12（天津六0九电缆公司，上网查以下电话
号码），长度：2500米。
14、增加了开关量和模拟量的总数，增加了PLC、外传输、触摸屏、和上位机的编程工作
量。
15、增加六台机械泵的控制和电缆。增加六个隔离门开到位接近开关，欧姆龙产品。 16、增加了电缆和控制线的长度。
17、增加组态王组态软件。增加触摸屏和PLC存储卡。 18、增加线槽
张工：请详细审阅，若有不当可修改，使形成的正式文件，尽量少出遗漏。 杨春学6月20日
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