第08章-离子注入工艺 - 图文

半导体制造技术导论（第二版）第八章离子注入工艺

白雪飞

中国科学技术大学电子科学与技术系

提纲

?简介

?离子注入技术简介?离子注入技术硬件设备?离子注入工艺过程?安全性

?离子注入技术发展趋势

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简介

集成电路制造工艺流程

集成电路制造工艺流程

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