大宗气体及特殊气体

氣體種類Gas TypeCH2F2CH3FCOC4F6氧化性易燃性vvvv危害性毒性vvvv腐蝕性窒息性CVDPVD使用區域DIFFIMPETCHvvvvPHOTO

四.B.G使用区域:

CDA: T/F PHOTO DIFF ETCH CMP IMP GN2; T/F DIFF ETCH CMP IMP LAB PN2: T/F PHOTO DIFF ETCH CMP IMP

HPCDA: PHOTO

五.S.G适用机台及制程:

气体种类 5%H2/HE F2/KR/NE KR/NE 适用机台及制程 AMT ENDURA-SEED LAYER(CU)(SPUTTER) SCANNER AR/H2/O2 CO2 AMT ENDURA-SPUTTER NOVELLUS VECTOR-CU;DNS FC3000 WET BENCH-ST CLEAN、B CLEAN;DNS SCRUBBER-WAFER SCRUBBER、WAFER RECYCLE H2/CL2/HBR KE (Z-III)-START OXIDE;TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE、PAD/SAC SIH4/WF6 OXIDE;AMAT ECP(CU)-CU ECP;NOVELLUS ALTUS-W PLUG DEP;AMT RTP-RTA(IMP) HE/SF6/NF3 AMT PRODUCER-NOSI、PESN(COSIX、CU)、BD(CU)、BP TEOS、PE CF4/SF6/HCL TEOS、PEOX;AMT RTP-RTA(CVD)、RTA(IMP);AMT ENDURA-METAL SPUTTER(CVD/TIN);TEL ALPHA 3031-LP TEOS N2O PH3/HE DCS AMT PRODUCER;AMT RTP;TEL ALPHA 3031-LP NITRIDE、GATE OXIDE;NOVELLUS VECTOR-SIC(CU)、FSG(CU) NO/SIH4 CL2 TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE O2/DCS/NF3 KE Z(III)-FLOW/REFLOW、POLY CURING、PAD/SAC OXIDE、START HBR OXIDE;TEL ALPHA 3031-GATE OXIDE;DNS FC3000-B CLEAN、STD CLEAN;NOVELLUS VECTOR-PEFSG、FSG(CU)、SIC(CU)、PEOX/PESN;AMT RTP-RTA(IMP)

现场配管施工

一、概说:

1、Hook up配管的范围:

1-1、Bulk gas:由Take off valve至机台点。 1-2、Specialty gas:由VMB/P各stick出口端至机

台点。

1-3、Hook up配管常用的材料: 1-4、

1-5、tube and fitting:一般常用尺寸为:1/4〞、

3/8〞、1/2〞、3/4〞,常用材质为:AP、BA、EP。

1-6、DP盘(distribution panel):一般常用尺寸为:

1/4〞、3/8〞1/2〞、3/4〞;组合阀件常见有:手动阀、调压阀(regulator);接头形式有:VCR、swagelok、welding。

2、确定机台需求:设计人员依业主提供之机台需求单,包

含机台名称、位置、气体需求数据、气源点(take off valve及VMB/P)编号,绘制草图。

3、核对现场及机台:

3-1、将legend图与现场状况核对,如气源点、管

路路径、上洞点、盘面、门型架、地板开孔及附属机台位置等。

3-2、待机台定位后,需再确认上述2-1项、机台位

置、门型架高度,及机台上各接点气体名称、接头尺寸、点数等(※在某些设备工程师为新进人员或机台为首次使用的情况下,经常无法提供完整的机台需求)。

4、讨论事项:管路在气源点与机台间是否安装盘面、相同

气体之各接点(或pump)是否共享盘面、盘面高度及如何固定等问题,均需与业主事前充分讨论,以免完

工后再次修改。

5、确认legend图及layout图:将定稿之legend图及layout

图,交业主审核无误(或修改)后,再交工程人员备料施工。

6、绘制竣工图:现场完工后,设计人员需再次核对legend

图及layout图与现场状况是否相符,修正后绘制竣工图一份送交业主、一份存查。

7、 HOOK UP 配管施工

8、确认legend图:自设计人员处取得legend图,至现场

确认图内各项资料是否相符,如气源点、管路路径、上洞点等。

9、备料:依legend图计算所需材料,备妥待用。

9-1、施工:

9-2、规划管路排列顺序:依各气源点与机台的相关

位置、盘面位置、配管路径及机台接点等,排列管路顺序(能绘制立体图者尤佳)。 9-3、安装盘面:在指定的高架地板下,依管路排列

顺序,将相同气体的盘面集中摆设。

9-4、安装门型架:将指定的高架地板,依需求尺寸

开孔后,安装门型架。

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